国家/地区 美国(8) 中国(5) 欧洲专利局(EPO)(5) 日本(5) 韩国(5) 世界知识产权组织(5) 台湾(3) 加拿大(2) 西班牙(2)
IPC部 C(9)
IPC大类 C01(9)
IPC小类 C01B(9)
IPC C01B031/04(9)
发明人
公开年 2013(9)
申请年 2013(6)  2012(3) 
专利权人 SEMICONDUCTO.(2)