国家/地区 美国(6)
IPC部 C(6) B(5) H(3)
IPC大类 C01(6) B82(5) B01(3)
H01(3) C08(2) C09(2)
IPC小类 C01B(6)
IPC C01B031/02(6)
发明人 NOMOTO K(2) YUGAWA M(2) YUKAWA M(2)
公开年 2013(3) 2012(2)
申请年 2012(6)
专利权人 SEMICONDUCTO.(2)

YOO H, KIM J, JUNG Y, YOO H J, KIM J K, JUNG Y G, KIM J S, LIU H