国家/地区 美国(5) 中国(4) 世界知识产权组织(4) 韩国(3)
IPC部 B(8)
IPC大类 C01(8)
IPC小类 C01B(8)
IPC C23C014/24(8)
发明人
公开年 2016(2) 2021(2)
申请年 2020(2) 
专利权人