国家/地区 美国(13) 韩国(9) 世界知识产权组织(6) 中国(5) 日本(4) 台湾(4) 欧洲专利局(EPO)(3)
IPC部 B(14)
IPC大类 C01(14)
IPC小类 C01B(14)
IPC C23C016/26(14)
发明人
公开年 2016(14)
申请年 2015(8)  2016(5) 
专利权人