国家/地区 | 美国(13) 韩国(9) 世界知识产权组织(6) 中国(5) 日本(4) 台湾(4) 欧洲专利局(EPO)(3) |
IPC部 |
B(14)![]() |
IPC大类 |
C01(14)![]() |
IPC小类 |
C01B(14)![]() |
IPC |
C23C016/26(14)![]() |
发明人 | |
公开年 |
2016(14)![]() |
申请年 | 2015(8) 2016(5) |
专利权人 |
HAM M, SON M, HAM M H, SON M W, XIAN W, SUN M
KIM H, JANG B, KWON G H, KIM H Y, JANG B Y
WU M Y, HSIEH C, PENG C, WU Y, XIE C, HSIEH C Y, PENG C S
WAN S K, HEE H J, HEE H B, KIM W S, HAN J H, HONG B H
ZARETSKI A, LIPOMI D J
JOHNSON B Y, MAZUMDER P, SONI K K