国家/地区 美国(9) 中国(4) 世界知识产权组织(4) 韩国(2) 台湾(2)
IPC部 C(9)
IPC大类 C01(9)
IPC小类 C01B(9)
IPC C23C016/26(9)
发明人
公开年 2016(4)
申请年 2015(2)  2016(2) 
专利权人