国家/地区 世界知识产权组织(5) 美国(4) 欧洲专利局(EPO)(3) 日本(2) 韩国(2)
IPC部 C(5)
IPC大类 C01(5)
IPC小类 C01B(5)
IPC C23C016/26(5)
发明人
公开年 2016(5)
申请年 2015(4) 
专利权人