国家/地区 美国(4) 中国(2)
IPC部 C(5)
IPC大类 C01(5)
IPC小类 C01B(5)
IPC C23C016/48(5)
发明人 BRODEUR C L(2) NAGEL C J(2)
公开年 2022(3) 2023(2)
申请年 2022(5)
专利权人 QUANTUM ELEM.(2)