国家/地区 美国(4)
IPC部 C(4)
IPC大类 C01(4) C23(4) B82(2)
H01(2) H05(2)
IPC小类 C01B(4)
IPC C23C016/48(4)
发明人 BRODEUR C L(2) NAGEL C J(2)
公开年 2022(3)
申请年 2022(4)
专利权人 QUANTUM ELEM.(2)