国家/地区 美国(5)
IPC部 B(5)
IPC大类 C01(5) C23(5) B82(4)
H01(3)
IPC小类 C01B(5)
IPC C23C016/26(5)
发明人
公开年 2013(3)
申请年 2013(3) 
专利权人