国家/地区 |
日本(6)![]() |
IPC部 |
C(6)![]() |
IPC大类 |
C01(6)![]() |
IPC小类 |
C01B(6)![]() |
IPC |
C23C026/00(6)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2013(2) |
申请年 | 2012(2) 2014(2) |
专利权人 |
YE N, KUBO T, SHIMIZU T
WEISSBECKER V, LEHNERT W, REIMER U, WEI SZLIG BECKER V, REINERT W
LI A W, HUNT J H, HOWE W R
LIU Z, ZHENG M, MARTENS R I, MARTENS R
TAKAHASHI M, SAITO Y, MOMO J, MORIWAKA T, KUSUMOTO N, MORIWAKA K, YONEDA Y