国家/地区 | 日本(4) 美国(3) |
IPC部 |
C(4)![]() |
IPC大类 | C01(4) H01(4) |
IPC小类 |
C01B(4)![]() |
IPC |
C01B031/02(3)
H01L029/786(3)
H01B001/04(2)
H01L021/28(2) H01L021/336(2) H01L029/06(2) H01L029/40(2) |
发明人 |
OKAI M(4)![]() |
公开年 | 2010(2) |
申请年 |
2010(4)![]() |
专利权人 | HITACHI LTD(4) OKAI M(2) |
OKAI M, HIROKA M, WADA Y, HIROOKA M