国家/地区 日本(4) 美国(3)
IPC部 C(4)
IPC大类 C01(4) H01(4)
IPC小类 C01B(4)
IPC C01B031/02(3) H01L029/786(3) H01B001/04(2)
H01L021/28(2) H01L021/336(2) H01L029/06(2)
H01L029/40(2)
发明人 OKAI M(4)
公开年 2010(2)
申请年 2010(4)
专利权人 HITACHI LTD(4) OKAI M(2)