国家/地区 美国(3) 德国(2)
IPC部 B(3)
IPC大类 B82(3) C01(3) H01(3)
B32(2) C23(2)
IPC小类 B82Y(3)
IPC B82Y030/00(3) B82Y040/00(3) C01B031/04(3)
C01B031/02(2) C23F001/02(2) H01L029/16(2)
H01L029/78(2)
发明人 MAAROUF A(3) MARTYNA G J(3)
公开年 2013(2)
申请年
专利权人 MAAROUF A(3)