国家/地区 英国(3)
IPC部 C(3)
IPC大类 C01(3) H01(3) C23(2)
C30(2)
IPC小类 C01B(3)
IPC C01B032/186(3) H01L021/02(3) C23C016/26(2)
C30B025/18(2) C30B029/02(2)
发明人 THOMAS S(3)
公开年 2022(2)
申请年 2021(3)
专利权人 PARAGRAF LTD(3)