国家/地区 美国(6)
IPC部 C(6)
IPC大类 C01(6) H01(3) B01(2)
IPC小类 C01B(6)
IPC C01B032/23(6)
发明人 OGUNI T(2)
公开年 2019(3) 2020(2)
申请年 2019(6)
专利权人 SEMICONDUCTO.(2)