国家/地区 | 韩国(4) 世界知识产权组织(4) 中国(3) 欧洲专利局(EPO)(3) 美国(3) 澳大利亚(2) 日本(2) |
IPC部 |
B(7)![]() |
IPC大类 |
B01(7)![]() |
IPC小类 |
C01B(7)![]() |
IPC |
C23C016/26(7)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2021(5) |
申请年 |
2020(7)![]() |
专利权人 |
LEE S H, HAJUNSEOK, RHO H K, RYU H S
AGRAWAL K V, HUANG S, HSU K, AGRAWAL K, HWANG S, HUSH K, XU G
HAVERMANS D, SALLARD S, SHAFIQUE A, VANGENEUGDEN D, VANHULSEL A, HARDY A, SALAH S, SHAFIK A, VAN GENUGDEN D, HARDY N
CHOI K, PARK H G, HEIGHT M, CHOI K J, PARK H, PIAO H
IONEBRASU D, ANDREI R D, JIANU C, ENACHE S, ENACHE A, CARCADEA E, VARLAM M, JIANU C C
NING J, FENG X, WANG D, ZHANG J, MU M, HAO Y