国家/地区 美国(4) 世界知识产权组织(4) 中国(3) 欧洲专利局(EPO)(3) 韩国(3) 澳大利亚(2) 日本(2)
IPC部 B(6)
IPC大类 B01(6)
IPC小类 C01B(6)
IPC C23C016/26(6)
发明人
公开年 2021(6)
申请年 2020(5) 
专利权人