国家/地区 | 美国(4) 世界知识产权组织(4) 中国(3) 欧洲专利局(EPO)(3) 韩国(3) 澳大利亚(2) 日本(2) |
IPC部 |
B(6)![]() |
IPC大类 |
B01(6)![]() |
IPC小类 |
C01B(6)![]() |
IPC |
C23C016/26(6)![]() |
发明人 | |
公开年 |
2021(6)![]() |
申请年 | 2020(5) |
专利权人 |
AGRAWAL K V, HUANG S, HSU K, AGRAWAL K, HWANG S, HUSH K, XU G
HAVERMANS D, SALLARD S, SHAFIQUE A, VANGENEUGDEN D, VANHULSEL A, HARDY A, SALAH S, SHAFIK A, VAN GENUGDEN D, HARDY N
SINITSKII A, TORRES A, LI G
CHOI K, PARK H G, HEIGHT M, CHOI K J, PARK H, PIAO H
IONEBRASU D, ANDREI R D, JIANU C, ENACHE S, ENACHE A, CARCADEA E, VARLAM M, JIANU C C