国家/地区 韩国(4) 美国(3) 欧洲专利局(EPO)(2) 法国(2) 日本(2)
IPC部 C(5)
IPC大类 C01(5) C23(5) H01(3)
B05(2) B32(2) B82(2)
IPC小类 C01B(5)
IPC C23C016/26(5)
发明人
公开年 2010(5)
申请年 2009(3) 
专利权人