国家/地区 日本(5)
IPC部 C(5)
IPC大类 C01(5) G06(5) H01(4)
H05(4) B82(3) B29(2)
B32(2) G02(2)
IPC小类 C01B(5)
IPC C01B031/02(5)
发明人
公开年 2012(2)
申请年 2012(2) 
专利权人 SEMICONDUCTO.(2)