国家/地区 | 日本(2) 韩国(2) 美国(2) |
IPC部 |
C(4)![]() |
IPC大类 |
C01(4)![]() |
IPC小类 |
C01B(4)![]() |
IPC |
C23C014/06(4)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2012(2) 2013(2) |
申请年 |
2011(4)![]() |
专利权人 |
INOUE T, INOUE M, TAMARU H, TSUJIMOTO H, MINAMI N
SCHREIL M, BURGHART M, KAUFMANN M
HWANG C C, JUNG Y G, HWANG H N, JEONG J I, YANG J H, JUNG Y, JEONG J, YANG J, HWANG H, HWANG C, GUK H C, IN J J, HUN Y J, GYUN J Y, NA H H