国家/地区 韩国(5) 美国(5) 中国(3) 日本(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(6)
IPC大类 C01(6)
IPC小类 C01B(6)
IPC C23C016/44(6)
发明人 CHOI J(2) CHOI J Y(2)
公开年 2011(6)
申请年 2010(5) 
专利权人 SAMSUNG ELEC.(3) UNIV SUNGKYU.(2)