国家/地区 中国(3) 日本(3) 韩国(3) 美国(3) 欧洲专利局(EPO)(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(5)
IPC大类 C01(5)
IPC小类 C01B(5)
IPC C23C026/00(5)
发明人
公开年 2014(2)
申请年 2012(5)
专利权人

YOO H, KIM J, JUNG Y, YOO H J, KIM J K, JUNG Y G, KIM J S, LIU H