国家/地区 美国(6) 世界知识产权组织(4) 中国(3) 欧洲专利局(EPO)(3) 韩国(3) 日本(2)
IPC部 C(6)
IPC大类 C01(6)
IPC小类 C01B(6)
IPC H01L021/02(6)
发明人
公开年 2015(3) 2016(2)
申请年 2015(6)
专利权人