国家/地区 中国(3)
IPC部 C(3)
IPC大类 C01(3)
IPC小类 C01B(3)
IPC C01B031/04(2) C01B032/16(2) C01B032/182(2)
C01B032/186(2) C23C016/26(2) C23C016/455(2)
C23C016/46(2)
发明人 JOUVRAY A(2) TEO K B K(2)
公开年 2016(2)
申请年 2014(3)
专利权人 AIXTRON SE(2)