国家/地区 韩国(3) 美国(2)
IPC部 C(3)
IPC大类 C01(3)
IPC小类 C01B(3)
IPC C01B031/02(3) G02F001/1333(2) G02F001/1343(2)
H01L051/50(2)
发明人
公开年 2012(3)
申请年 2011(2) 
专利权人