国家/地区 美国(5)
IPC部 B(5)
IPC大类 B82(5)
IPC小类 B82Y(5)
IPC B82Y040/00(5) C01B032/186(4) B82Y030/00(3)
C23C016/02(3) C23C016/26(3) C23C016/01(2)
C23C016/34(2) H01G009/20(2) H01L031/0224(2)
发明人 ELSAYED K A M(2) MAAROUF A A(2)
公开年 2023(5)
申请年 2022(4) 
专利权人 UNIV IMAM AB.(2)