国家/地区 欧洲专利局(EPO)(3)
IPC部 B(3)
IPC大类 B82(3)
IPC小类 B82Y(3)
IPC B82Y030/00(3) B82Y040/00(3) C01B031/04(3)
B81C001/00(2) C01B031/02(2) C01B032/184(2)
H01L021/02(2) H01L029/16(2)
发明人 ZENASNI A(2)
公开年 2013(2)
申请年 2011(3)
专利权人 CENT NAT REC.(2) COMMISSARIAT.(2)