国家/地区 印度(3) 日本(3)
IPC部 C(7)
IPC大类 C01(7)
IPC小类 C01B(7)
IPC C01B032/182(3) C01B032/194(3) C01B032/23(2)
C07C025/22(2) H01L021/336(2) H01L029/786(2)
H01L051/05(2) H01L051/30(2)
发明人 HAYASHI H(2) YAMADA Y(2) YAMAGUCHI J(2)
公开年 2022(7)
申请年 2020(7)
专利权人 FUJITSU LTD(3) NARA INST SC.(2)