国家/地区 美国(4) 世界知识产权组织(3) 中国(2)
IPC部 C(5)
IPC大类 C01(5)
IPC小类 C01B(5)
IPC C23C014/28(5)
发明人
公开年 2022(2)
申请年 2022(2) 
专利权人