国家/地区 美国(3) 韩国(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 B(4)
IPC大类 C01(4)
IPC小类 C01B(4)
IPC C23C026/00(4)
发明人
公开年 2015(4)
申请年 2014(4) 
专利权人