国家/地区 | 美国(4) 欧洲专利局(EPO)(3) 世界知识产权组织(3) 中国(2) 法国(2) 日本(2) |
IPC部 |
C(5)![]() |
IPC大类 |
C01(5)![]() |
IPC小类 |
C01B(5)![]() |
IPC |
C23C028/00(5)![]() |
发明人 | |
公开年 |
2013(5)![]() |
申请年 | 2011(2) 2013(2) |
专利权人 |
KINLOCH I, LEWIS A, KING M, LEVIS A
CHAE S J, CHOI J Y, FETHULLAH G, LEE Y H, SHIN H J, YAO F