国家/地区 中国(4)
IPC部 B(4)
IPC大类 B82(4)
IPC小类 B82Y(4)
IPC C01B031/02(4) C01B031/04(4) B82Y030/00(3)
B82Y040/00(3) B82B003/00(2) C01B032/188(2)
C23F001/00(2) C30B029/02(2) H01L021/02(2)
H01L031/04(2)
发明人 VEERASAMY V(3) VEERASAMY V S(3)
公开年 2011(3)
申请年 2009(4)
专利权人 GUARDIAN GLA.(3) GUARDIAN IND(3) GUARDIAN IND.(3)

KAERKKAEINEN A M, HAQUE S M, COLLI A, PASANEN P M, JOHANNES K L M, UUSITALO M A, LEHTINIEMI R K, KARKKAAINEN A M, HAQUE S, KARKKAINEN L M J, KARKKAINEN L, UUSITALO M, LEHTINIEMI R, KARKKAINEN L M Y, KAERKKAEINEN L M J