国家/地区 韩国(2) 台湾(2) 美国(2)
IPC部 C(3)
IPC大类 C01(3)
IPC小类 C01B(3)
IPC C23C016/02(3)
发明人
公开年 2022(3)
申请年 2021(2) 
专利权人