| 国家/地区 | 美国(5) 中国(4) 欧洲专利局(EPO)(4) 世界知识产权组织(4) 韩国(3) 印度(2) 日本(2) 俄罗斯(2) |
| IPC部 |
C(5)
B(3)
H(3)
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| IPC大类 |
C01(5)
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| IPC小类 |
C01B(5)
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| IPC |
C23C016/26(5)
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| 发明人 | |
| 公开年 | 2013(2) 2016(2) |
| 申请年 | 2016(2) |
| 专利权人 |
HAM M, SON M, HAM M H, SON M W, XIAN W, SUN M
KINLOCH I, LEWIS A, KING M, LEVIS A
