国家/地区 韩国(3) 美国(3)
IPC部 C(3)
IPC大类 C01(3)
IPC小类 C01B(3)
IPC C23C016/26(3) C01B032/186(2)
发明人 LEE C(3)
公开年 2021(3)
申请年 2021(2) 
专利权人 SAMSUNG ELEC.(3)