国家/地区 中国(5)
IPC部 C(5) H(4) B(3)
IPC大类 C01(5) H01(4) B82(3)
B01(2)
IPC小类 C01B(5)
IPC C01B032/198(5)
发明人
公开年 2012(5)
申请年 2012(3)  2011(2) 
专利权人 SEMICONDUCTO.(2)