国家/地区 台湾(15)
IPC部 C(15) H(10) B(8)
IPC大类 C01(15) H01(9) B01(4)
B82(4) C08(3) C09(3)
H05(3) C07(2) C23(2)
C30(2)
IPC小类 C01B(15)
IPC C01B032/182(8) B82Y040/00(4) C01B032/194(4)
B82Y030/00(3) H01L021/02(3) H01L029/16(3)
H01L029/78(3) C01B032/184(2) C01B032/186(2)
C08K003/04(2) C23C016/455(2) H01L021/336(2)
H01L029/10(2)
发明人
公开年 2022(12) 2023(3)
申请年 2022(15)
专利权人 TAIWAN SEMIC.(3)

LEHMANN K, SCHUMANN S, LEICH V, BREUERS V, HOENIG J, HELLMANN L, HOVEN T, SEIDENSTICKER P