国家/地区 美国(12)
IPC部 C(12)
IPC大类 C01(12) B82(11) H01(7)
C07(3) C25(3) B01(2)
H05(2)
IPC小类 C01B(12)
IPC C01B032/20(12)
发明人 YUGAWA M(3) YUKAWA M(3) IKENUMA T(2)
NOMOTO K(2) SAITO Y(2) TODORIKI H(2)
TODOROKI H(2) YONEDA Y(2)
公开年 2013(12)
申请年 2012(7)  2013(4) 
专利权人 SEMICONDUCTO.(4)

TODORIKI H, YUKAWA M, SAITO Y, YAMAKAJI M, YATABE R, IKENUMA T, TODOROKI H, YUGAWA M, YONEDA Y, TSUKUDA R

BLANKENBURG S, CAI J, FASEL R, FENG X, MUELLEN K, PASSERONE D, PIGNEDOLI C, RUFFIEUX P, MULLEN K, PIGNEDOLI C A, TSAI J, CAI Y