国家/地区 中国(7)
IPC部 C(7)
IPC大类 C01(7)
IPC小类 C01B(7)
IPC C01B032/194(5) C01B031/02(2) C03B037/022(2)
C03C006/02(2) C23C016/26(2) H01L021/20(2)
发明人 GE S(2) JIANG S(2) SHI S(2)
公开年 2021(2)
申请年 2019(2) 
专利权人 ANHUI JUKE G.(2)