国家/地区 世界知识产权组织(6)
IPC部 C(6)
IPC大类 C03(6) C01(3) C23(2)
H01(2)
IPC小类 C03B(6)
IPC C01B031/02(2) C23C016/26(2) H01L021/20(2)
发明人
公开年
申请年
专利权人