国家/地区 美国(6) 中国(4) 韩国(3) 世界知识产权组织(3) 欧洲专利局(EPO)(2) 印度(2) 日本(2) 台湾(2)
IPC部 C(6)
IPC大类 C04(6) H01(6) B82(4)
C01(4) C23(4) B01(2)
B32(2) C25(2)
IPC小类 C04B(6)
IPC H01L021/02(6)
发明人 HU S C(2) LIN I(2) SUNG C(2)
YU C(2)
公开年 2015(2) 2021(2)
申请年 2020(2) 
专利权人 HU S C(2) LIN I(2) SUNG C(2) YU C(2)