国家/地区 中国(11)
IPC部 C(14)
IPC大类 C04(14)
IPC小类 C04B(14)
IPC C04B035/622(6) C01B032/186(2) C04B035/14(2)
C04B035/584(2) C04B035/83(2) H01L023/373(2)
H01L035/34(2)
发明人 WANG Z(3)
公开年 2022(10) 2023(4)
申请年 2022(14)
专利权人