国家/地区 中国(8)
IPC部 C(10)
IPC大类 C04(10)
IPC小类 C04B(10)
IPC C04B035/622(4) C01B032/186(2) C04B035/14(2)
C04B035/584(2) C04B035/83(2) H01L023/373(2)
H01L035/34(2)
发明人 WANG Z(2)
公开年 2022(10)
申请年 2022(10)
专利权人