国家/地区 中国(5) 美国(4) 欧洲专利局(EPO)(2) 日本(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(6)
IPC大类 C01(6)
IPC小类 C01B(6)
IPC C01B032/194(6)
发明人 YAMAKAJI M(2)
公开年 2013(2)
申请年 2013(2) 
专利权人 SEMICONDUCTO.(2)