国家/地区 美国(9)
IPC部 C(9) B(6) H(4)
IPC大类 C01(9) C07(9) B82(4)
C09(3) H01(3) B01(2)
B32(2) C08(2)
IPC小类 C01B(9)
IPC C01B032/194(9)
发明人 YAMAKAJI M(2)
公开年 2013(2) 2016(2)
申请年 2013(3)  2016(2) 
专利权人 SEMICONDUCTO.(2)