国家/地区 美国(9)
IPC部 C(9)
IPC大类 C01(9)
IPC小类 C01B(9)
IPC C01B032/194(9)
发明人 YAMAKAJI M(2)
公开年 2013(2) 2016(2)
申请年 2013(3)  2016(2) 
专利权人 SEMICONDUCTO.(2)