| 国家/地区 |
美国(3)
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| IPC部 |
C(3)
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| IPC大类 |
C01(3)
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| IPC小类 |
C01B(3)
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| IPC |
C01B032/198(3)
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| 发明人 | YAMAKAJI M(2) |
| 公开年 | 2018(2) |
| 申请年 | |
| 专利权人 | SEMICONDUCTO.(2) |
