国家/地区 美国(5)
IPC部 B(5)
IPC大类 B82(5) C25(5) H01(4)
B01(3) B22(3) C23(3)
C01(2)
IPC小类 B82Y(5)
IPC B82Y030/00(5)
发明人 GABEN F(2) OGUNI T(2) OSADA T(2)
TAKEUCHI T(2)
公开年 2021(3) 2020(2)
申请年 2020(5)
专利权人 SEMICONDUCTO.(2)