国家/地区 美国(6) 中国(5) 韩国(5) 欧洲专利局(EPO)(4) 日本(3) 世界知识产权组织(3) 印度(2) 台湾(2)
IPC部 C(6)
IPC大类 C01(6)
IPC小类 C01B(6)
IPC H01L021/02(6)
发明人 LIPOMI D J(2) ZARETSKI A(2)
公开年 2016(2)
申请年 2016(2) 
专利权人 UNIV CALIFOR.(2)