国家/地区 中国(4)
IPC部 B(4)
IPC大类 C23(4) C25(4) B22(2)
B32(2) H01(2) H05(2)
IPC小类 C23C(4)
IPC C23C014/18(4)
发明人 CHEN Q(2)
公开年 2021(2)
申请年 2021(2) 
专利权人