国家/地区 美国(4)
IPC部 C(4)
IPC大类 C01(4) C25(4) B82(3)
H01(3)
IPC小类 C01B(4)
IPC C01B031/02(4)
发明人 KOKUNI T(2) NAGATA T(2) OGUNI T(2)
OSADA T(2) TAKEUCHI T(2)
公开年 2013(3)
申请年 2012(4)
专利权人 SEMICONDUCTO.(3)